Личный кабинет
Подробное описание документа
Технологии субмикронных структур микроэлектроники / Достанко А. П., Бордусов С. В., Голосов Д. А. [и др.] ; ред. Достанко А. П. - Белорусская наука, 2018. -
Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
