Личный кабинет
Подробное описание документа
Гапоненко Н. В., Милешко Л. П.
Основы процессов получения легированных оксидных пленок методами золь-гель‒технологии и анодного окисления : учебное пособие / Гапоненко Н. В., Милешко Л. П. - Издательство Южного федерального университета, 2019. -
Междисциплинарное учебное пособие, предназначенное для факультативного изучения студентами магистратуры, обучающимися по направлениям подготовки «Техносферная безопасность», «Нанотехнологии и микросистемная техника» и «Конструирование и технология электронных средств». Рассмотрены основные закономерности образования, свойства и примеры использования золь-гель‒пленок легированных лантаноидами на планарных подложках и в мезоскопических порах пористого кремния, пористого анодного оксида алюминия и синтетических опалов, а также легированных фосфором или бором анодных оксидных пленок кремния, карбида кремния, нитрида кремния и легированных хлором ‒ меди (I).
