Личный кабинет
Подробное описание документа
Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий : учебно-методическое пособие / Рабинович О. И., Крутогин Д. Г., Подгорная С. В. [и др.]. - Издательский Дом МИСиС, 2015.
В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий». Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» в качестве бакалавров, магистров и инженеров, при выполнении лабораторных работ, подготовке магистерских диссертаций и дипломных работ.
