Личный кабинет
Подробное описание документа
Бублик В. Т., Щербачев К. Д.
Дифракционные методы изучения поверхностных слоев и приборных структур : учебное пособие / Бублик В. Т., Щербачев К. Д. - Издательский Дом МИСиС, 2001.
Содержание предлагаемого пособия соответствует лекционному курсу «Дифракционные методы изучения поверхности и приборных структур», читаемому в качестве спецкурса студентам специальности 071000 «Материаловедение и новые технологии». В нем кратко изложены теоретические основы дифракционных методов изучения структуры поверхности и основы дифрактометрии высокого разрешения, рассматриваемой в качестве основного инструментального метода. Показана связь деформаций в сложных многослойных структурах с измеряемыми рентгенодифрактометрическими методами характеристиками: средними деформациями, усредненными по толщине гетероструктуры, профилями деформации, кривизной. Пособие по этой тематике издается впервые. Необходимость издания определяется тем, что по указанной тематике учебная литература отсутствует.
