Подробное описание документа

Рабинович О. И., Крутогин Д. Г., Евсеев В. А.
   Основы технологии электронной компонентной базы: моделирование технологических процессов получения тонкопленочных материалов : учебно-методическое пособие / Рабинович О. И., Крутогин Д. Г., Евсеев В. А. - Издательский Дом МИСиС, 2012. - ISBN 978-5-87623-566-4.

IPR SMART

Войти и читать

https://www.iprbookshop.ru/98097.html

В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Основы технологии электронной компонентной базы». Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника» в качестве бакалавров, магистров и инженеров, при выполнении лабораторных работ, подготовке магистерских диссертаций и дипломных работ.