Личный кабинет
Подробное описание документа
Основы технологии электронной компонентной базы : учебно-методическое пособие / Рабинович О. И., Крутогин Д. Г., Маренкин С. Ф. [и др.]. - Издательский Дом МИСиС, 2015.
В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Основы технологии электронной компонентной базы». Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 11.04.04 – «Электроника и наноэлектроника» в качестве бакалавров, магистров и инженеров, и может быть полезно при выполнении лабораторных работ, подготовке магистерских диссертаций и дипломных работ.
