Подробное описание документа
Никифоров, И. К. Электронная аппаратура. Основные материалы и технологии микро- и наноэлектроники : учебное пособие / И. К. Никифоров. — Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2023. — 416 с. — ISBN 978-5-9729-1230-8.
Рассматриваются материалы и технологии, наиболее широко применяемые в микро- и наноэлектронике, изготовлении микросхем, микромодулей и блоков электронной аппаратуры. Для студентов электротехнических и радиотехнических специальностей и специалистов, занимающихся разработкой радиоэлектронной и силовой электронной аппаратуры.
