Подробное описание документа
Кручинин, Д. Ю. Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей : учебное пособие для СПО / Д. Ю. Кручинин, Е. П. Фарафонтова ; под редакцией В. А. Дерябина. — 3-е изд. — Саратов, Екатеринбург : Профобразование, Уральский федеральный университет, 2024. — 49 с. — ISBN 978-5-4488-0454-0, 978-5-7996-2891-8.
В учебном пособии изложены основы фотолитографии, виды и способы изготовления оптических шкал, рассматриваются оптические детали, требующие формирования топологии на поверхности. Учебное пособие предназначено для изучения дисциплин «Оборудование и технология обработки оптических деталей», «Технология изготовления оптических деталей» по укрупненной группе специальностей и профессий среднего профессионального образования «Фотоника, приборостроение, оптические и биотехнические системы и технологии».
