Личный кабинет
Подробное описание документа
Базиненков, А. М. Технические средства получения и измерения давления вакуумной технологической среды : методические указания / А. М. Базиненков, А. Т. Каменихин ; под редакцией С. А. Герасимова. — Москва : МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2017. — 64 с. — ISBN 978-5-7038-4675-9.
Представлены материалы для практического изучения важнейших элементов вакуумного оборудования — средств откачки, измерения давления, а также процедуры измерения быстроты откачки технологического объема. Для студентов, обучающихся по специальностям «Электроника и наноэлектроника», «Наноинженерия» в МГТУ им. Н.Э. Баумана. Методические указания к выполнению лабораторных работ по дисциплине «Основы проектирования и эксплуатации нанотехнологического оборудования»
Похожие издания
Технические средства получения и измерения давления вакуумной технологической среды : учебно-методическое пособие / Базиненков А. М., Каменихин А. Т. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т). - 2-е изд., испр. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2020. - 62 с. : ил. - Библиогр.:
Читать онлайн
Технические средства получения и измерения давления вакуумной технологической среды : метод. указания к выполнению лаб. работ по дисциплине "Основы проекирования и эксплуатации нанотехнологического оборудования" / Базиненков А. М., Каменихин А. Т. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2017. - 62 с. : ил. - Библиогр.:
