Личный кабинет
Подробное описание документа
Глушко, А. А. Приборно-технологическое моделирование в системе TCAD Sentaurus : учебное пособие / А. А. Глушко. — Москва : МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2015. — 61 с. — ISBN 978-5-7038-4177-8.
Рассмотрена система TCAD Sentaurus приборно-технологического моделирования процессов формирования элементов интегральных микросхем, а также моделирования физических процессов, протекающих в этих элементах при различных условиях эксплуатации. Система представляет собой комплекс программ, развернутых на удаленном сервере под управлением операционных систем, подобных Linux. Для студентов, обучающихся по специальности «Проектирование и технология производства электронной аппаратуры».
