Личный кабинет
Подробное описание документа
Панфилов, Ю. В. Учебно-методический комплекс по тематическому направлению деятельности ННС «Наноинженерия» : учебное пособие : в 17 книгах / Ю. В. Панфилов, В. М. Утенков, В. П. Михайлов ; под редакцией В. А. Шахнова. — Москва : МГТУ им. Баумана, [б. г.]. — Книга 8 : Электронная микроскопия — 2011. — 184 с. — ISBN 978-5-7038-3499-2.
Методические материалы по дисциплине «Физико-механические компоненты наносистем» содержат нормативную базу дисциплины, рекомендации по организации и проведению лекций, практических занятий, лабораторных работ и деловых игр, перечень учебных видеоматериалов, слайдов, типовых плакатов и другие дидактические материалы для работы профессорско-преподавательского состава по данной дисциплине. Для студентов, аспирантов и преподавателей высших технических учебных заведений по направлению подготовки «Нанотехнология» с профилем подготовки «Наноинженерия». Будут полезны всем, занимающимся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных систем различного назначения
