Личный кабинет
Подробное описание документа
Микроэлектромеханические системы и датчики : учебное пособие / М. Е. Калинкина, О. И. Пирожникова, В. Л. Ткалич, А. В. Комарова. — Санкт-Петербург : НИУ ИТМО, 2020. — 75 с.
В учебном пособии рассмотрены вопросы актуальных областей применения МЭМС и датчиков, созданных на основе микротехнологий, основные материалы микросенсорной техники, а также элементная база микромеханических приборов, конструкции и принципы работы микромеханических приборов и их измерительные свойства. Предназначено для обучения магистров по направлению подготовки 11.04.03 «Конструирование и технология электронных средств» для образовательной программы «Проектирования киберфизических систем защиты информации» по дисциплине «Микроэлектромеханические системы и датчики».
