Личный кабинет
Подробное описание документа
Цветков, Ю. Б. Процессы и оборудование микротехнологии : учебное пособие / Ю. Б. Цветков. — Москва : МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2018. — 124 с. — ISBN 978-5-7038-4864-7.
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии — изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии. Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».
