Подробное описание документа
Поляков, В. И. Проектирование гибридных тонкопленочных интегральных микросхем : учебное пособие / В. И. Поляков, Э. В. Стародубцев. — Санкт-Петербург : НИУ ИТМО, 2013. — 80 с.
В пособии изложен материал по проектированию тонкопленочных гибридных интегральных схем. Описаны методы получения тонких пленок. Рассмотрены основные принципы проектирования топологии гибридных интегральных схем и методика расчета тонкопленочных резисторов и конденсаторов. В приложении приводятся варианты заданий.
