Подробное описание документа
Ткалич, В. Л. Физические основы наноэлектроники : учебное пособие / В. Л. Ткалич, А. В. Макеева, Е. Е. Оборина. — Санкт-Петербург : НИУ ИТМО, 2011. — 83 с.
В учебном пособии рассмотрены физические основные наноэлектроники. Технологии создания твердотельных наноструктур, применение квантово-размерных структур в приборах наноэлектроники.
