Подробное описание документа
Физические основы микроэлектроники : учебное пособие / В. Л. Ткалич, В. Н. Фролков, К. О. Ткачев, А. Н. Волченко. — Санкт-Петербург : НИУ ИТМО, 2009. — 101 с.
Пособие соответствует утвержденной учебной программе по направлению 210202 - «Проектирование и технология электронно-вычислительных средств». Предназначено для студентов, выполняющие работы лабораторного практикума по дисциплине «Физические основы микроэлектроники». Пособие содержит описание лабораторных работ, методические указания по их выполнению, контрольные вопросы и краткий теоретический материал.
