Личный кабинет
Подробное описание документа
Формирование гетероструктур наноприборов методом МЛЭ : учебное пособие / В. Д. Шашурин, К. В. Малышев, С. А. Мешков [и др.]. — Москва : МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2009. — 42 с.
Настоящее издание соответствует учебной программе курса «Специ) альные технологические методы в нанотехнологии». Рассматриваются методы выращивания 2D)наноструктур (наносло) ев), 1D)наноструктур (нанонитей) и 0D)наноструктур (наночастиц) с по) мощью молекулярно)лучевой эпитаксии для их применения в нано) приборах радиоэлектронных систем. Для студентов 6)го курса приборостроительных специальностей.
