Личный кабинет
Подробное описание документа
Потловский, К. Г. Нанотехнологии и микромеханика : учебное пособие / К. Г. Потловский. — Москва : МГТУ им. Н.Э. Баумана, [б. г.]. — Часть 6 : Базовые технологические процессы микросистемной техники — 2013. — 64 с. — ISBN 978-5-7038-3729-0.
Рассмотрены основные технологические процессы про- изводства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диф- фузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника»
