Личный кабинет
Подробное описание документа
Малов, К. В. Лазерные технологии в электронном машиностроении : учебное пособие / К. В. Малов, И. Н. Шиганов. — Москва : МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2008. — 24 с.
Дано общее представление о процессах лазерной обработки по- лупроводников с целью рекристаллизации и отжига, описаны лазер- ные технологии модифицирования и изменения химического состава поверхностных слоев, напыления и осаждения тонких пленок, про- цессы лазерного легирования поверхности полупроводников. Также в пособии рассмотрены физико-химические и технологические процес- сы лазерной обработки пленок и деталей микроэлектроники, дана классификация методов лазерной обработки, рассмотрены методы подгонки параметров элементов микроэлектроники, размерной обра- ботки и маркировки тонких пленок. Для студентов 6-го курса, изучающих дисциплину «Лазерная микротехнология».
