Личный кабинет
Подробное описание документа
Технология микросистемной техники : учебное пособие / О. С. Нарайкин, В. В. Холевин, И. И. Данилов, В. А. Шалаев. — Москва : МГТУ им. Н.Э. Баумана, [б. г.]. — Часть 1 : Методы микрообработки — 2010. — 36 с.
Рассмотрены современные методы микрообработки, применяе- мые в технологии изготовления микросистем: объемная микрооб- работка, поверхностная микрообработка, технология LIGA. Приве- дены сведения о материалах, применяемых в микросистемной тех- нике, и о методах соединения слоев микросистем. Для студентов 5–6-го курсов приборостроительных специально- стей.
