Личный кабинет
Подробное описание документа
Нанотехнологии и микромеханика : учебное пособие / Ю. А. Иванов, В. М. Башков, В. Д. Шашурин, Н. В. Федоркова. — Москва : МГТУ им. Н.Э. Баумана, [б. г.]. — Часть 4 : Зондовые нанотехнологии — 2007. — 56 с. — ISBN 5-7038-2938-0.
Описаны физические явления, используемые в работе сканирующего туннельного микроскопа и атомного силового микроскопа. Рассмотрены физико-химические законы наиболее разработанных зондовых нанотехнологий. Для студентов и аспирантов специальностей «Технологии приборостроения», «Технологии электронных средств», «Нанотехнологии».
