Личный кабинет
Подробное описание документа
Магунов, А. Н. Лазерная термометрия твердых тел / А. Н. Магунов. — Москва : ФИЗМАТЛИТ, 2001. — 224 с. — ISBN 5-9221-0222-2.
Лазерная термометрия основана на дистанционном измерении температурно-зависимых параметров твердых тел с помощью зондирующего светового пучка и определении искомой температуры по известной температурной зависимости измеренного параметра. Рассматриваются принципы, особенности и ограничения ряда новых методов бесконтактного измерения температуры твердых тел. Проведено сравнение различных лазерных методов по ряду критериев, важных при практическом применении: чувствительности, инерционности, помехозащищенности, производительности измерений, сложности оптической схемы. Лазерная термометрия применяется в условиях, где традиционные методы оказались неэффективными: при взаимодействии газоразрядной плазмы, ионных или лазерных пучков с поверхностью, при нанесении тонких пленок и травлении микроструктур интегральных схем. Книга адресована специалистам в области термометрии, теплофизики, физики плазмы и газового разряда, плазмохимии, гетерогенного катализа, микроэлектроники, плазменно-пучковых технологий обработки твердого тела
Похожие издания
Лазерная термометрия твердых тел / Магунов А. Н. - М. : Физматлит, 2002. - 222 с. - Библиогр.:
