Личный кабинет
Подробное описание документа
М. Н. Орлова, И. В. Борзых
Наноэлектроника : курс лекций / М. Н. Орлова, И. В. Борзых ; Федеральное агентство по образованию, Московский институт стали и сплавов (МИСиС), Кафедра полупроводниковой электроники и физики полупроводников. - Москва : МИСиС, 2013. -
Рассмотрены физические и технологические основы наноэлектроники. Описаны подходы, позволяющие формировать элементы электронной техники в приборах и устройствах наноэлектроники. Проанализированы тенденции развития наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм.Курс лекций представляет собой практическое руководство для студентов и аспирантов технических вузов, обучающихся по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника».
