Личный кабинет
Подробное описание документа
Лазеры в микро- и наноэлектронике : учебное пособие / С. П. Малюков, А. В. Саенко, Ю. В. Клунникова, А. В. Палий ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Южный федеральный университет, Южный федеральный университет, Инженерно-технологическая академия. - Ростов-на-Дону, Таганрог : Южный федеральный университет, 2018. -
Учебное пособие содержит обобщение знаний в области лазерных технологий, сведения о физических основах лазерной обработки и её применении в микро- и наноэлектронике. Рассматриваются характеристики и параметры лазерного излучения и особенности различных лазерных технологических процессов, включая моделирование физики воздействия лазерного излучения на основе уравнения теплопроводности. Пособие рекомендовано для подготовки магистров по направлению 11.04.03 «Конструирование и технология электронных средств», а также для специалистов в области лазерных технологий.
