Подробное описание документа
П. С. Маринушкин, А. А. Левицкий
Компоненты микросистемной техники: основы конечно-элементного анализа радиочастотных микроэлектромеханических систем : учебное пособие / П. С. Маринушкин, А. А. Левицкий ; Сибирский федеральный университет. - Красноярск : Сибирский федеральный университет (СФУ), 2022. -
Рассмотрены принципы работы компонентов радиочастотных микроэлектро-механических систем и описаны примеры использования современных технологий их моделирования с использованием программного комплекса ANSYS.Предназначено по кодификатору ФГОС ВО для направлений подготовки бакалавров 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств». Рекомендуется для всех специальностей и направлений укрупненных групп 110000 «Электроника, радиотехника и системы связи».