Подробное описание документа

Сидорова С. В.
   Расчет технологических режимов и выбор параметров оборудования для формирования островковых тонких пленок в вакууме : дис... ктн : 05. 27. 06 / Сидорова С. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2016. - 190 л. : ил. - Библиогр.: л. 159-170.

УДК

621.793.1 Нанесение покрытий и осаждение пленок вакуумным испарением и конденсацией. Вакуумная металлизация

Предметные рубрики

• Пленки - Получение - Диссертации

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л