Подробное описание документа

   Полупроводниковые тонкопленочные газовые сенсоры : [монография] / Максимова Н. К., Севастьянов Е. Ю., Сергейченко Н. В., Черников Е. В. ; Нац. исслед. Томский гос. ун-т. - Томск : Изд-во науч. -техн. лит., 2016. - 163 с. : ил. - Библиогр.: с. 151-157. - ISBN 978-5-89503-580-1.

В моногpафии рассмотрены научные основы создания газовых сенсоров на основе тонких пленок металлооксидных полупроводников, предназначенных для детектирования ряда восстановительных и окислительных газов. Обобщены результаты оригинальных комплексных исследований микроструктуры, электрических и газочувствительных характеристик нанокристаллических пленок диоксида олова и триоксида вольфрама с добавками каталитических благородных металлов, полученных методами магнетронного напыления. Анализ экспериментально установленных закономерностей с использованием развитых теоретических представлений позволил уточнить механизмы проводимости и откликов сенсоров, модифицированных катализаторами Pt, Рd, Аu.

Рассмотрены возможные подходы к повышению значений адсорбцонного отклика селективности и стабильности параметров миниатюрныx полупроводниковых сенсоров. Для решения этих задач выполнены экспериментальные и теоретические исследования особенностей характеристик в режиме импульсного нaгpeвa тонкопленочных сенсоров на основе диоксида олова с различными добавками. Предложены методы определения концентраций водорода и монооксида углерода с использованием временных зависимостей проводимости при определенных режимах термоциклирования без построения калибровочных rpафиков. В ряде случаев показаны пути повышения стабильности параметров сенсоров различного назначения.

Монография предназначена для научных работников, занимающихся разработкой полупроводниковых газовых сенсоров, аспирантов и студентов, специализирующихся в области твердотельной электроники и изучающих физикохимию гетерогенных процессов.

Представлены результаты, полученные авторами при выполнении ряда бюджетных и прикладных тем, а также по государственному контракту № 2014/223 код проекта 1368 в рамках государственного задания Минобрнауки РФ.

У2153931
681
П-533
543.27  Анализ газа
1 экз.
  • Читальный зал младших курсов №1 (требуется предварительный заказ из книгохранилища)
  • Абонемент научной литературы УЛК (требуется предварительный заказ из книгохранилища)
фулк: 1