Подробное описание документа

   Изучение возможностей использования электроннозондовых методов для субмикронной диагностики материалов и структур электронной техники : отчёт о НИР (заключительный) / МГТУ им. Н. Э. Баумана. Калужский фил. ; рук. темы Степович М. А. - М., 2003. - 140 л. - Библиогр.: л. 130-140. - Шифр Т00-2.2-852. - ГР 01200110405. - Инв. № 02.20.0303192.

УДК

621.315.592 Полупроводники

Предметные рубрики

• Полупроводники - Методы исследования

Общее кол-во в фондах

1 экз.

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л