Личный кабинет
Подробное описание документа
Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении : серия из 7 монографий. - Ивантеевка : Изд-во НИИ предельных технологий, 2012.
Моногр. 3, т. 1 : Микроинженерия коммутационной аппаратуры / Васин В. А., Ивашов Е. Н., Степанчиков С. В. - 2012. - 246 с. : ил. - Библиогр.:
Рассмотрены вопросы разработки принципиально нового подхода к проектированию вакуумной коммугационной аппаратуры для работы в условиях малых перепадов низких давлений. Одним из возможных решений при этом является использование в качестве приводов формирования перемещений и усилий упруго-деформируемых пневматических герметичных элементов, действующих на основе принципа управляемой упругой деформации. В монографии сформулированы основные принципы конструирования вакуумной запорной аппаратуры, наиболее полно удовлетворяющей требованиям высоковакуумного многомодульного оборудования, выполнен комплекс теоретических и компьютерных и экспериментальных исследований, сформулированы требования по широкой реализации направления в технике создания облегченных конструкций бескорпусных вакуумных клапанов и затворов и рассмотрены перспективы дальнейшего развития работ в этом направлении, а так же при создании большинства других устройств вакуумной механики.
Монография предназначена для инженерно-технических и научных работников, занимающихся микро- и наноинженерией в электронном машиностроении и может быrь рекомендована аспирантам вузов и студентам, обучающимся по специальности 210107 - «Электронное машиностроение» и направлению подготовки бакалавров и магистров 210100 - «Электроника и наноэлектроника» профиля «Микро- и наноинженерия в электронике».
621.3.049.76 Миниатюризация и микроминиатюризация. Цепи с дискретными элементами и компонентами. Микромодули. Модули Кордвуда1 экз.
- Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
