Подробное описание документа

   Эффективные коэффициенты распыления титана, нитрида титана и молибдена ионами азота и смеси азот-кислород / Духопельников Д. В., Рязанов В. А., Воробьев Е. В., Абгарян В. К., Попов Г. А., Хартов С. А. // Поверхность: рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2016. - № 12. - С. 15-21.

УДК

620.168 Испытания образцов из составных материалов

Авторы МГТУ

• Духопельников Дмитрий Владимирович
• Рязанов Виктор Аркадьевич
• Воробьев Евгений Валентинович

Статья опубликована в следующих изданиях