Подробное описание документа

   Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении : серия из 7 монографий. - Ивантеевка : Изд-во НИИ предельных технологий, 2012.
   Моногр. 1 : Наноинженерия туннельных преобразователей : [монография] / Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н. [и др.]. - 2012. - 200 с. : ил. - Библиогр.: с. 123-143. - ISBN 978-5-905872-03-7.

Рассмотрены общие и специальные вопросы принятия базовых микро- и наноинженерных решений при проектировании и изготовлении упругих чувствительных элементов наноэлектромеханических преобразователей, позволяющие создавать принципиально новые твердотельные приборы на основе квантовых эффектов - монолитные туннельные преобразователи, на базе которых могут быть построены измерительные системы нового поколения (акустические, акселерометрические и т.д.), обладающие повышенной чувствительностью и широким динамическим диапазоном.
Монография предназначена для инженерно-технических и научных работников, занимающихся микро- и наноинженерией в электронном машиностроении, в том числе наноинженерией туннельных преобразователей и может быть рекомендована аспирантам вузов и студентам, обучающимся по специальности 210107 - "Электронное машиностроение" и направлению подготовки бакалавров и магистров 210100 - "Электроника и наноэлектроника" профиля "Микро- и наноинженерия в электронике".

УДК

621.3.049.76 Миниатюризация и микроминиатюризация. Цепи с дискретными элементами и компонентами. Микромодули. Модули Кордвуда

Предметные рубрики

• Микроэлектроника
• Нанотехнологии

Авторы МГТУ

• Васин Валерий Анатольевич

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л