Подробное описание документа

Журнал

Известия ВУЗов. Сер. "Электроника".
Т. 23, № 5. - 2018.

Читать онлайн

Скачать оглавление

Общее кол-во в фондах
1 экз.

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313

Содержание

с. 454-467

Статья

Исследование технологических режимов газофазного формирования начального слоя кремния на сапфире / Федотов С. Д., Соколов Е. М., Стаценко В. Н., Ромашкин А. В.

подробнее

Вернуться к «результатам поиска»