Подробное описание документа

   Расчет электромагнитного поля плоского индуктора установки плазмохимического травления / Сагателян Г. Р., Грачев И. Ю., Бугорков К. Н., Федоркова Н. В. // Нанотехнологии. Разработка. Применение. ХХ1 век. - 2020. - Т. 12, № 1. - С. 29-42.

УДК

537.5 Электронные и ионные явления. Разряды. Плазма. Излучения

Авторы МГТУ

• Сагателян Гайк Рафаэлович
• Федоркова Нина Валентиновна

Статья опубликована в следующих изданиях