Подробное описание документа

Статья

Рябов В. Т., Дюжев Н. А.
Исследование теплового МЭМС-сенсора массового расхода газа / Рябов В. Т., Дюжев Н. А. // Вакуумная наука и техника : материалы 28-ой научно-технической конференциии с участием зарубежних специалистов, Крым, Судак, 16-21 сентября 2021 г. / ред. Нестеров С. Б. ; Российское научно-техническое вакуумное общество им. С. А. Векшинского, МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Институт физики твердого тела РАН, Научный союз научных и инженерных общественных объединений. - М., 2021. - С. 157-162.

УДК
621.52 Разрежение воздуха и газов. Вакуумная техника. Воздушные насосы. Вакуумные насосы

Авторы МГТУ

Рябов Владимир Тимофеевич

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 157-162

Вакуумная наука и техника : материалы 28-ой научно-технической конференциии с участием зарубежних специалистов, Крым, Судак, 16-21 сентября 2021 г. / ред. Нестеров С. Б. ; Российское научно-техническое вакуумное общество им. С. А. Векшинского, МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Институт физики твердого тела РАН, Научный союз научных и инженерных общественных объединений. - М. : НОВЕЛЛА, 2021. - 324 с. : ил. - Библиогр. в конце статей. - ISBN 978-5-6044949-4-3.

подробнее

Вернуться к «результатам поиска»