Подробное описание документа
Нанотехнологии и микромеханика [Электронный ресурс] : учебное пособие / МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2007.
Ч. 4 : Зондовые нанотехнологии. / Иванов Ю. А., Башков В. М., Шашурин В. Д., Федоркова Н. В. - 2007. - 53 с. - Библиогр.
Описаны физические явления, используемые в работе сканирующего туннельного микроскопа и атомного силового микроскопа. Рассмотрены физико-химические законы наиболее разработанных зондовых нанотехнологий.
Для студентов и аспирантов специальностей «Технологии приборостроения», «Технологии электронных средств», «Нанотехнологии».
621.38-022.532 Наноэлектроника