Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

   Нанотехнологии и микромеханика [Электронный ресурс] : учебное пособие / МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2007.
   Ч. 4 : Зондовые нанотехнологии. / Иванов Ю. А., Башков В. М., Шашурин В. Д., Федоркова Н. В. - 2007. - 53 с. - Библиогр. в конце кн. - ISBN 5-7038-2938-0.

Скачать документ
Электронная версия, предоставленная издательством
bmstu.press/catalog/item/419/

Описаны физические явления, используемые в работе сканирующего туннельного микроскопа и атомного силового микроскопа. Рассмотрены физико-химические законы наиболее разработанных зондовых нанотехнологий.
Для студентов и аспирантов специальностей «Технологии приборостроения», «Технологии электронных средств», «Нанотехнологии».

621.38-022.532 Наноэлектроника