Камарттинов Артем Ильдарович
| Тип публикации | Авторы | Заглавие | Издание, год, номер, страницы |
|---|---|---|---|
| Статья в журнале |
Власов Евгений Юрьевич МГТУ
Шаховцев М. М. МГТУ Васильев Даниил-Доминик Сергеевич МГТУ Камарттинов Артем Ильдарович МГТУ |
Исследование влияния величин расхода реагентов на однородность оксида кремния в процессе термического оксидирования монокристаллических кремниевых подложек |
Все материалы. Энциклопедический справочник
2019
.-
№ 4
.-
С.
17 - 20
|