Исследование технологических режимов газофазного формирования начального слоя кремния на сапфире / Федотов С. Д., Соколов Е. М., Стаценко В. Н., Ромашкин А. В. // Известия ВУЗов. Сер. "Электроника". - 2018. - Т. 23, № 5. - С. 454-467.
Используя сайт Библиотеки МГТУ им. Н. Э. Баумана,
Вы соглашаетесь с использованием файлов cookie и сервисов сбора и анализа статистики посещений
для обеспечения работоспособности сайта и улучшения качества обслуживания.
Подробнее о файлах cookie.