Подробное описание документа

Статья

Исследование технологических режимов газофазного формирования начального слоя кремния на сапфире / Федотов С. Д., Соколов Е. М., Стаценко В. Н., Ромашкин А. В. // Известия ВУЗов. Сер. "Электроника". - 2018. - Т. 23, № 5. - С. 454-467.

УДК
548.512 Процесс осаждения. Разложение смешанных кристаллов

Авторы МГТУ

Ромашкин Алексей Валентинович

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 454-467

Журнал

Известия ВУЗов. Сер. "Электроника".
Т. 23, № 5. - 2018.

подробнее