Особенности электронно-лучевой микроразмерной обработки подложек из различных типов керамики / Чжо Я., Масловский В., Моисеев К., Воробьев И., Назаренко М. // Электроника: наука, технология, бизнес. - 2023. - № 3. - С. 110-115.
Используя сайт Библиотеки МГТУ им. Н. Э. Баумана,
Вы соглашаетесь с использованием файлов cookie и сервисов сбора и анализа статистики посещений
для обеспечения работоспособности сайта и улучшения качества обслуживания.
Подробнее о файлах cookie.