Подробное описание документа

Статья

Особенности электронно-лучевой микроразмерной обработки подложек из различных типов керамики / Чжо Я., Масловский В., Моисеев К., Воробьев И., Назаренко М. // Электроника: наука, технология, бизнес. - 2023. - № 3. - С. 110-115.

УДК
621.9.048.7 Электроннолучевая обработка и обработка лучами других элементарных частиц

Авторы МГТУ

Чжо Янян .

Моисеев Константин Михайлович

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 110-115

Журнал

Электроника: наука, технология, бизнес.
№ 3. - 2023.

подробнее