Подробное описание документа
Статья
Особенности электронно-лучевой микроразмерной обработки подложек из различных типов керамики / Чжо Я., Масловский В., Моисеев К., Воробьев И., Назаренко М. // Электроника: наука, технология, бизнес. - 2023. - № 3. -
621.9.048.7 Электроннолучевая обработка и обработка лучами других элементарных частиц