Подробное описание документа

   Особенности электронно-лучевой микроразмерной обработки подложек из различных типов керамики / Чжо Я., Масловский В., Моисеев К., Воробьев И., Назаренко М. // Электроника: наука, технология, бизнес. - 2023. - № 3. - С. 110-115.

УДК

621.9.048.7 Электроннолучевая обработка и обработка лучами других элементарных частиц

Авторы МГТУ

• Чжо Янян .
• Моисеев Константин Михайлович

Статья опубликована в следующих изданиях