Анализ проблем производства кристаллов чувствительных элементов из монокристаллического кремния для сенсорных систем / Аваева Л. Г., Сергеева Н. А., Милешин С. А., Цивинская Т. А. // Датчики и системы. - 2017. - № 5. - С. 25-31.
Используя сайт Библиотеки МГТУ им. Н. Э. Баумана,
Вы соглашаетесь с использованием файлов cookie и сервисов сбора и анализа статистики посещений
для обеспечения работоспособности сайта и улучшения качества обслуживания.
Подробнее о файлах cookie.