Подробное описание документа

   Анализ проблем производства кристаллов чувствительных элементов из монокристаллического кремния для сенсорных систем / Аваева Л. Г., Сергеева Н. А., Милешин С. А., Цивинская Т. А. // Датчики и системы. - 2017. - № 5. - С. 25-31.

УДК

681.586 Преобразователи в датчики (в системах регулирования)

Авторы МГТУ

• Аваева Лина Григорьевна
• Сергеева Наталья Алексеевна
• Милешин Сергей Андреевич
• Цивинская Татьяна Анатольевна

Статья опубликована в следующих изданиях