Черняев А. В. Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на арсениде галлия / Черняев А. В. - М. : Радио и связь, 1990. - 85 с.
Используя сайт Библиотеки МГТУ им. Н. Э. Баумана,
Вы соглашаетесь с использованием файлов cookie и сервисов сбора и анализа статистики посещений
для обеспечения работоспособности сайта и улучшения качества обслуживания.
Подробнее о файлах cookie.
Личный кабинет
