159 записей
Статья
Расчет температуры композиционного электрода в нормальном тлеющем разряде / Кристя В. И., Прасицкий В. В., Прасицкий Г. В., Чжо Зай // Электромагнитные волны и электронные системы. - 2016. - Т. 21, № 8. - С. 59-63 .
Статья
Расчет электромагнитного поля плоского индуктора установки плазмохимического травления / Сагателян Г. Р., Грачев И. Ю., Бугорков К. Н., Федоркова Н. В. // Нанотехнологии. Разработка. Применение. ХХ1 век. - 2020. - Т. 12, № 1. - С. 29-42 .
Савинов В. П.
Физика высокочастотного емкостного разряда : [монография] / Савинов В. П. - М. : Физматлит, 2013. - 307 с. : ил. - Библиогр.:с. 297-307 . - ISBN 978-5-9221-1551-3 .
Физика высокочастотного емкостного разряда : [монография] / Савинов В. П. - М. : Физматлит, 2013. - 307 с. : ил. - Библиогр.:
Статья
Савичкин Д. О., Кристя В. И.
Моделирование методом Монте-Карло энергетических спектров ионов и быстрых атомов у поверхности электрода в слаботочном разряде в смеси аргона с парами ртути / Савичкин Д. О., Кристя В. И. // Поверхность: рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2019. - № 2. -С. 107 - 112 .
Моделирование методом Монте-Карло энергетических спектров ионов и быстрых атомов у поверхности электрода в слаботочном разряде в смеси аргона с парами ртути / Савичкин Д. О., Кристя В. И. // Поверхность: рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2019. - № 2. -
Савичкин Д. О.
Моделирование взаимодействия низкотемпературной плазмы газового разряда в смеси аргон - пары ртути и электрода с диэлектрической пленкой на поверхности : автореф. дис... кф-мн : 01. 04. 07 / Савичкин Д. О. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (Национальный исследовательский университет). - М., 2019. - 16 с. : ил.
Моделирование взаимодействия низкотемпературной плазмы газового разряда в смеси аргон - пары ртути и электрода с диэлектрической пленкой на поверхности : автореф. дис... кф-мн : 01. 04. 07 / Савичкин Д. О. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (Национальный исследовательский университет). - М., 2019. - 16 с. : ил.
Савичкин Д. О.
Моделирование взаимодействия низкотемпературной плазмы газового разряда в смеси аргон - пары ртути и электрода с диэлектрической пленкой на поверхности : дис... кф-мн : 01. 04. 07 / Савичкин Д. О. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (Национальный исследовательский университет). - М., 2019. - 119 л. : ил. - Библиогр.:л. 105-119 .
Моделирование взаимодействия низкотемпературной плазмы газового разряда в смеси аргон - пары ртути и электрода с диэлектрической пленкой на поверхности : дис... кф-мн : 01. 04. 07 / Савичкин Д. О. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (Национальный исследовательский университет). - М., 2019. - 119 л. : ил. - Библиогр.:
Статья
Сагателян Г. Р., Бугорков К. Н.
Анализ высокочастотного разряда при плазмохимическом травлении кварцевого стекла гексафторидом серы / Сагателян Г. Р., Бугорков К. Н. // Нанотехнологии. Разработка. Применение. ХХ1 век. - 2024. - Т. 16, № 2. -С. 54-71 .
Анализ высокочастотного разряда при плазмохимическом травлении кварцевого стекла гексафторидом серы / Сагателян Г. Р., Бугорков К. Н. // Нанотехнологии. Разработка. Применение. ХХ1 век. - 2024. - Т. 16, № 2. -
Семенов А. П.
Техника распыления ионными пучками / Семенов А. П. ; РАН. СО. Бурятский научный центр, Институт естественных наук ; отв. ред. Ломухин Ю. Л. - Улан-Удэ : Изд-во БНЦ СО РАН, 1996. - 118 с. - Библиогр.:с. 106-118 . - ISBN 5-7623-1110-4 .
Техника распыления ионными пучками / Семенов А. П. ; РАН. СО. Бурятский научный центр, Институт естественных наук ; отв. ред. Ломухин Ю. Л. - Улан-Удэ : Изд-во БНЦ СО РАН, 1996. - 118 с. - Библиогр.:
Статья
Сидорова С. В., Егорова С. И.
Моделирование влияния режимов ионно-лучевой обработки на шероховатость поверхности / Сидорова С. В., Егорова С. И. // Технологии разработки и отладки сложных технических систем : материалы 9-ой Всероссийской научно-практическойя конференции, Москва, 5-6 апреля 2023 года : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет), Центр инженерных технологий и моделирования "Экспонента". - 2024. - Т. 2. -С. 226-229 .
Моделирование влияния режимов ионно-лучевой обработки на шероховатость поверхности / Сидорова С. В., Егорова С. И. // Технологии разработки и отладки сложных технических систем : материалы 9-ой Всероссийской научно-практическойя конференции, Москва, 5-6 апреля 2023 года : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет), Центр инженерных технологий и моделирования "Экспонента". - 2024. - Т. 2. -
