Расширенный поиск

   Физические основы микро- и нанотехнологий [Электронный ресурс] : учебное пособие / Бычков С. П., Михайлов В. П., Панфилов Ю. В., Цветков Ю. Б. ; ред. Цветков Ю. Б. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2009. - 174 с. : ил. - Библиогр.: с. 172-173. - ISBN 978-5-7038-3319-3.