Подробное описание документа

   Физические основы микро- и нанотехнологий [Электронный ресурс] : учебное пособие / Бычков С. П., Михайлов В. П., Панфилов Ю. В., Цветков Ю. Б. ; ред. Цветков Ю. Б. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2009. - 174 с. : ил. - Библиогр.: с. 172-173. - ISBN 978-5-7038-3319-3.

Скачать документ

Электронная версия, предоставленная издательством

Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана

https://press.bmstu.ru/catalog/item/1874/

Айбукс

Войти и читать

https://ibooks.ru/products/343836

Лань

Войти и читать

https://e.lanbook.com/book/52463

Даны краткие сведения из отдельных разделов физики и смежных наук, составляющих физические основы микро- и нанотехнологий. Рассмотрены основные законы, понятия и определения физических явлений, процессов и сред, являющихся основой этих технологий. Приведены методы преобразования фундаментальных физических законов в прикладные технологические зависимости, расчёты физических закономерностей, определяющих параметры процессов микро- и нанотехнологий.
Для студентов 3-го и 4-го курсов, обучающихся по специальности «Электронное машиностроение».

УДК

621.3.049.76 Миниатюризация и микроминиатюризация. Цепи с дискретными элементами и компонентами. Микромодули. Модули Кордвуда

Предметные рубрики

• Микроэлектроника - Учебники и пособия
• Нанотехнологии - Учебники и пособия

Авторы МГТУ

• Бычков Сергей Павлович
• Михайлов Валерий Павлович
• Панфилов Юрий Васильевич
• Цветков Юрий Борисович