Расширенный поиск

Баклыков Д. А.
   Исследование и разработка физико-технологических методов создания оптических микроэлектромеханических систем : 2. 2. 3-Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники : дис... ктн / Баклыков Д. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (Национальный исследовательский университет). - М., 2024. - 171 л. : ил. - Библиогр.: л. 151-171.

Рыжков В. В.
   Микрофлюидный сенсор потока с применением технологии "кремний-на-стекле" : 2. 2. 9-Проектирование и технология приборостроения и радиоэлектронной аппаратуры : автореф. дис... ктн / Рыжков В. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - М., 2025. - 17 с. : ил. - Библиогр.: с. 16-17.

Рыжков В. В.
   Микрофлюидный сенсор потока с применением технологии "кремний-на-стекле" : 2. 2. 9-Проектирование и технология приборостроения и радиоэлектронной аппаратуры : дис... ктн / Рыжков В. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - М., 2025. - 102 л. : ил. - Библиогр.: л. 94-102.

Белоус А. И., Чижик С. А.
   МЭМС: конструкции, технологии, приложения / Белоус А. И., Чижик С. А. - М. : ТЕХНОСФЕРА, 2024. - 618 с. : ил. - (Мир электроники). - Библиогр. в конце глав. - ISBN 978-5-94836-688-3.

Ануров А. Е., Дидык П. И., Жуков А. А.
   Средства создания устройств микросистемной техники: материалы, технологии, деградационные процессы, основные производители и тенденции развития : учебное пособие / Ануров А. Е., Дидык П. И., Жуков А. А. ; ред. Жуков А. А. - М. : КУРС, 2026. - 110 с. : ил. - Библиогр.: с. 100-109. - ISBN 978-5-907228-73-3.

Щука, А. А.  Электроника в 4 ч. Часть 1. Вакуумная и плазменная электроника : учебник для вузов / А. А. Щука, А. С. Сигов ; под редакцией А. С. Сигова. — 2-е изд., испр. и доп. — Москва : Издательство Юрайт, 2026. — 172 с. — (Высшее образование). — ISBN 978-5-534-01763-2.

Седаков А. Ю., Смолин В. К.
   Тонкопленочные элементы в микроэлектронике: основы проектирования и изготовления / Седаков А. Ю., Смолин В. К. ; ред. Седаков А. Ю. - М. : Радиотехника, 2011. - 165 с. : ил. - Библиогр.: с. 159-165. - ISBN 978-5-88070-292-3.

Белов И. А., Шеленшкевич В. А., Шуб Л. И.
   Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем : монография / Белов И. А., Шеленшкевич В. А., Шуб Л. И. - Л. : Политехника, 1991. - 287 с. : ил. - Библиогр.: с. 283-286. - ISBN 5-7325-0001-4.

Джуринский К. Б.
   Миниатюрные коаксиальные радиокомпоненты для микроэлектроники СВЧ. Соединители, коаксиально-микрополосковые переходы, адаптеры, СВЧ-вводы, низкочастотные вводы, изоляционные стойки, фильтры помех / Джуринский К. Б. - 2-е изд., испр. и доп. - М. : Техносфера, 2006. - 214 с. : ил. + CD-ROM. - Библиогр.: с. 208-214. - ISBN 5-94836-095-4.

   Микроэлектронные устройства СВЧ : учебное пособие для вузов / Веселов Г. Н., Егоров Е. Н., Алехин Ю. Н. [и др.] ; ред. Веселов Г. Н. - М. : Высшая школа, 1988. - 279 с. : ил. - Библиогр.: с. 276. - ISBN 5-06-001170-4.