163 записи
Марахтанов М. К., Духопельников Д. В., Воробьев Е. В.
Основы конструирования вакуумных плазменных установок : учеб. пособие по курсам «Технологические ионно-плазменные установки» и «Промышленные магнетронные установки» / Марахтанов М. К., Духопельников Д. В., Воробьев Е. В. ; ред. Ивашкин А. Б. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2014. - 91 с. : ил. - Библиогр.:с. 91 . - ISBN 978-5-7038-4029-0 .
Основы конструирования вакуумных плазменных установок : учеб. пособие по курсам «Технологические ионно-плазменные установки» и «Промышленные магнетронные установки» / Марахтанов М. К., Духопельников Д. В., Воробьев Е. В. ; ред. Ивашкин А. Б. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2014. - 91 с. : ил. - Библиогр.:
Статья
Методика определения размеров лопаточного рабочего колеса с линейно-переменной шириной и толщиной лопатки / Фролов Е. С., Демихов К. Е., Никулин Н. К., Шевляков А. Н. // Компрессорные и вакуумные машины и пневмоагрегаты : сборник статей / ред. Лубенец В. Д. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана. - 1972. - Вып. 2. - С. 87-90 .
Методы расчета сложных вакуумных систем / Нестеров С. Б., Бурмистров А. В., Андросов А. В. [и др.] ; общ. ред. Нестеров С. Б., Бурмистров А. В. - М. : Техносфера, 2012. - 373 с. : ил. - (Мир физики и техники). - Библиогр.: с. 365-373 . - ISBN 978-5-94836-337-0 .
Механика и физика точных вакуумных механизмов : монография : в 2 т. - Владимир : Владимирский гос. ун-т, 2001.
Т. 1 / Александрова А. Т., Вагин Н. С., Василенко Н. В. [и др.] ; ред. Деулин Е. А. - 2001. - 175 с. : ил. - Библиогр.в конце гл. - ISBN 5-89368-280-7 .
Т. 1 / Александрова А. Т., Вагин Н. С., Василенко Н. В. [и др.] ; ред. Деулин Е. А. - 2001. - 175 с. : ил. - Библиогр.
Механика и физика точных вакуумных механизмов : монография : в 2 т. - Владимир : Изд-во Владимирского государственного университета, 2001.
Т. 2 / Александрова А. Т., Вагин Н. С., Василенко Н. В. [и др.] ; ред. Деулин Е. А. - 2002. - 150 с. : ил. - Библиогр.в конце гл. - ISBN 5-93264-043-X .
Т. 2 / Александрова А. Т., Вагин Н. С., Василенко Н. В. [и др.] ; ред. Деулин Е. А. - 2002. - 150 с. : ил. - Библиогр.
Механические вакуумные насосы / Фролов Е. С., Автономова И. В., Васильев В. И., Никулин Н. К. ; общ. ред. Фролов Е. С. - М. : Машиностроение, 1989. - 283 с. - Библиогр.: с. 281-282 . - ISBN 5-217-00483-5 .
Статья
Мешков В. А., Забугин Е. Д.
Уточнение методики расчета испарительных геттерных насосов / Мешков В. А., Забугин Е. Д. // Исследование компрессорных и вакуумных машин и пневмоагрегатов / ред. Лубенец В. Д. - М., 1981. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 356). -С. 55-63 .
Уточнение методики расчета испарительных геттерных насосов / Мешков В. А., Забугин Е. Д. // Исследование компрессорных и вакуумных машин и пневмоагрегатов / ред. Лубенец В. Д. - М., 1981. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 356). -
Михайлов В. П., Моисеев К. М., Панфилов Ю. В.
Высоковакуумные технологические процессы в приборостроении : учебное пособие / Михайлов В. П., Моисеев К. М., Панфилов Ю. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2023. - 213 с. : ил. - (Библиотека "Приборостроение" ; т. 2). -ISBN 978-5-7038-6098-4 . - ISBN 978-5-7038-6155-4 (т. 2).
Высоковакуумные технологические процессы в приборостроении : учебное пособие / Михайлов В. П., Моисеев К. М., Панфилов Ю. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2023. - 213 с. : ил. - (Библиотека "Приборостроение" ; т. 2). -
Автореферат диссертации
Невшупа Р. А.
Научные основы управления процессами трибодесорбции газов в узлах трения механизмов сверхвысоковакуумного оборудования электронной техники и нанотехнологии : автореф. дис... дтн : 05. 27. 06 / Невшупа Р. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2010. - 32 с.
Научные основы управления процессами трибодесорбции газов в узлах трения механизмов сверхвысоковакуумного оборудования электронной техники и нанотехнологии : автореф. дис... дтн : 05. 27. 06 / Невшупа Р. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2010. - 32 с.
Диссертация
Невшупа Р. А.
Научные основы управления процессами трибодесорбции газов в узлах трения механизмов сверхвысоковакуумного оборудования электронной техники и нанотехнологии : дис... дтн : 05. 27. 06 / Невшупа Р. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2010. - 671 л. - Библиогр.:л. 598-641 .
Научные основы управления процессами трибодесорбции газов в узлах трения механизмов сверхвысоковакуумного оборудования электронной техники и нанотехнологии : дис... дтн : 05. 27. 06 / Невшупа Р. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2010. - 671 л. - Библиогр.: