Подробное описание документа

Марахтанов М. К., Духопельников Д. В., Воробьев Е. В.
   Основы конструирования вакуумных плазменных установок : учеб. пособие по курсам «Технологические ионно-плазменные установки» и «Промышленные магнетронные установки» / Марахтанов М. К., Духопельников Д. В., Воробьев Е. В. ; ред. Ивашкин А. Б. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2014. - 91 с. : ил. - Библиогр.: с. 91. - ISBN 978-5-7038-4029-0.

Читать онлайн Аннотация

Рассмотрены основные понятия вакуумной техники, а также характеристики вакуумных насосов, необходимые для проектирования и расчета вакуумных плазменных установок. Даны примеры определения параметров потоков газа и плазмы в вакууме. Приведены характеристики ряда промышленных и лабораторных установок, предназначенных для ионно-плазменной обработки изделий.
Для студентов старших курсов технических университетов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием вакуумно-плазменных систем.

УДК

621.52:533.9

Предметные рубрики

• Вакуумная техника - Учебники и пособия

Авторы МГТУ

• Марахтанов Михаил Константинович
• Духопельников Дмитрий Владимирович
• Воробьев Евгений Валентинович

Общее кол-во в фондах

19 экз.

1. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
2. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
3. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
4. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
5. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313