Скачать документ
Электронная версия, предоставленная издательством
Марахтанов М. К.
Основы конструирования вакуумных плазменных установок : учеб. пособие по курсам «Технологические ионно-плазменные установки» и «Промышленные магнетронные установки» / Марахтанов М. К., Духопельников Д. В., Воробьев Е. В. ; ред. Ивашкин А. Б. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2014. - 91 с. : ил. - Библиогр.:
Рассмотрены основные понятия вакуумной техники, а также характеристики вакуумных насосов, необходимые для проектирования и расчета вакуумных плазменных установок. Даны примеры определения параметров потоков газа и плазмы в вакууме. Приведены характеристики ряда промышленных и лабораторных установок, предназначенных для ионно-плазменной обработки изделий.
Для студентов старших курсов технических университетов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием вакуумно-плазменных систем.
20 экз.