Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана
Очистить
1 запись
Жигалина О. М.
   Материалы микроэлектроники: тонкие пленки для интегрированных устройств : учеб. пособие / Жигалина О. М. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2017. - 121 с. : ил. - Библиогр.: с. 104-108. - ISBN 978-5-7038-4743-5.
41 экз.